Die Mikroelektronik ist eine der Schlüsseltechnologien für die Digitalisierung in vielen Bereichen von Wirtschaft und Gesellschaft. Insbesondere Industrie 4.0, das Internet der Dinge, die Elektromobilität und das autonome Fahren erfordern komplexe und multifunktionale Mikroelektroniksysteme. Um hierbei auch im internationalen Wettbewerb bestehen zu können, baut Deutschland seine Kompetenzen in der Mikroelektronik aus.

Darum stärkt die Bundesregierung die Mikroelektronik mit ihrem Rahmenprogramm für Forschung und Innovation "Mikroelektronik aus Deutschland – Innovationstreiber der Digitalisierung" und hat in diesem Kontext darüber hinaus ein nationales Investitionsprogramm initiiert. Das Bundesministerium für Wirtschaft und Energie plant darin Investitionen von Wirtschaftsunternehmen im Rahmen eines wichtigen Vorhabens von gemeinsamem europäischem Interesse zu fördern. Das Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF) hat im April 2017 Investitionen in die Mikroelektronikforschung mit der "Forschungsfabrik Mikroelektronik Deutschland (FMD)"¹ gestartet. Durch die Ausstattung von elf Fraunhofer- und zwei Leibniz-Instituten mit modernsten Anlagen und Geräten entsteht in der FMD ein gemeinsamer Technologiepool für Mikroelektronik-Entwicklungen und zur Erschließung der Mikroelektronik des nächsten Jahrzehnts. Als zweiter Bestandteil des Investitionsprogramms in die Mikroelektronikforschung richtet sich die vorliegende Förderrichtlinie an Hochschulen.

In der forschungsintensiven Mikroelektronik stellen Hochschulen einen zentralen Innovationsfaktor dar. Sie erschließen neues Wissen und bilden den wissenschaftlich qualifizierten Nachwuchs aus. Mit der vorliegenden Richtlinie sollen deshalb Investitionen an Hochschulen mit leistungsfähigem Schwerpunkt in der Mikroelektronik gefördert werden. Die Geräteausstattung soll modernisiert und so Forschung auf internationalem Spitzenniveau zu neuen Forschungsfeldern verstärkt ermöglicht werden. Zudem soll der wissenschaftliche Austausch und die Kooperation der geförderten Einrichtungen durch eine Vernetzung untereinander als Teil dieser Richtlinie gestärkt werden.

Die Fördermaßnahme trägt zur Umsetzung der Hightech-Strategie der Bundesregierung bei.

1 Zuwendungszweck und Rechtsgrundlage

1.1 Zuwendungszweck

Das BMBF beabsichtigt, auf der Grundlage dieser Förderrichtlinie Investitionen zur Modernisierung und Erweiterung der wissenschaftlichen Forschungsausstattung an Hochschulen zu fördern. Dadurch soll unter dem Titel:

"Forschungslabore Mikroelektronik Deutschland (ForLab)" eine neue Qualität und Sichtbarkeit der Mikroelektronikforschung an Hochschulen geschaffen werden.

Zweck ist es, neue Forschungsthemen und -gebiete der Mikroelektronik auf internationalem Spitzenniveau an Hochschulen zu erschließen, die eine hohe wissenschaftliche und künftige wirtschaftliche Relevanz haben und die ohne Investitionen gemäß dieser Förderrichtlinie nicht erschlossen werden können.

Gefördert werden Investitionen an Hochschulen mit ausgewiesener Expertise im Bereich der Mikroelektronik im Rahmen von:

• bestehenden Lehrstühlen oder Professuren,
• bestehenden Nachwuchsgruppen,
• laufenden Berufungsverfahren.

Investitionskonzepte, die vorsehen, neue Technologie- und Systemansätze auch kooperativ voranzubringen, werden vorrangig gefördert. Dies ist denkbar im Rahmen einer engen Forschungskooperation von Lehrstühlen, Professuren und Nachwuchsgruppen

• an einer Hochschule,
• an mehreren Hochschulen,
• sowie mit der FMD

oder durch eine gemeinschaftliche Nutzung der Investitionen an einer oder mehreren Hochschulen.

1.2 Rechtsgrundlage

Der Bund gewährt die Zuwendungen nach Maßgabe dieser Richtlinie, der §§ 23 und 44 der Bundeshaushaltsordnung (BHO) und den dazu erlassenen Verwaltungsvorschriften sowie der "Richtlinien für Zuwendungsanträge auf Ausgabenbasis (AZA)" des BMBF. Ein Rechtsanspruch auf Gewährung einer Zuwendung besteht nicht. Die Bewilligungsbehörde entscheidet nach pflichtgemäßem Ermessen im Rahmen der verfügbaren Haushaltsmittel.

2 Gegenstand der Förderung

Gegenstand der Förderung sind Investitionen zur Modernisierung und Erweiterung der wissenschaftlichen Forschungsausstattung an Hochschulen.

Hierzu gehören z. B. Anlagen für neuartige Herstellprozesse und Prozessschritte in der Erzeugung von Mikro- und Nanoelektronik und Elektroniksystemen sowie für Materialherstellungs- und Prüfaufgaben der künftigen Mikroelektronik oder Investitionen zur Umsetzung neuartiger Design- und Entwurfstechniken. Die Nutzung der geplanten Investitionen soll

• neues Wissen für Technologie- und Systemansätze für breite Anwendungsfelder generieren,
• Forschung zur Mikroelektronik ermöglichen, die den aktuellen Stand der Technik deutlich übertrifft,
• neue Forschungsthemen und -gebiete der Mikroelektronik auf internationalem Spitzenniveau erschließen, die eine hohe wissenschaftliche und künftige wirtschaftliche Relevanz haben; die Nutzung im Zusammenhang mit geplanten Neubesetzungen von Lehrstühlen oder Professuren ist daher ausdrücklich erwünscht,
• die überregionale Bedeutung der geförderten Einrichtung und ihre nationale und internationale Ausstrahlungskraft erhöhen, sowie eine möglichst große Querschnitts- und Breitenwirkung erwarten lassen.

Die Teilnahme von Nachwuchsgruppen ist ausdrücklich erwünscht.

3 Zuwendungsempfänger

Antragsberechtigt sind ausschließlich Hochschulen mit Sitz, Betriebsstätte oder Niederlassung in Deutschland mit ausgewiesener Expertise im Bereich der Mikroelektronik. Mehrere Lehrstühle, Professuren oder Nachwuchsgruppen an einer Hochschule, die eine gemeinsame Nutzung der Investitionen planen, werden gebeten, einen gemeinsamen Antrag durch die Hochschule zu stellen. Es können auch gemeinsame Anträge von mehreren Hochschulen als Verbundvorhaben eingereicht werden. In diesem Fall ist eine koordinierende Hochschule zu benennen.

4 Zuwendungsvoraussetzungen

Förderfähig sind Investitionen zur Modernisierung und Erweiterung der wissenschaftlichen Forschungsausstattung an Hochschulen (z. B. Laboranlagen, Gerätschaften), die notwendig sind, um neue Forschungsthemen und -gebiete zu erschließen. Ersatzbeschaffungen sind nicht förderfähig.

Die Förderung ist in der Regel auf einen Zeitraum von drei Jahren angelegt. Innerhalb dieses Zeitraums müssen alle Geräte und Anlagen in Betrieb genommen sein.

Zuwendungsfähig sind nur die notwendigen Ausgaben für Investitionen, die ausschließlich zur Anschaffung und Implementierung der Investitionen zwingend erforderlich sind. Die zur Erschließung der neuen Forschungsthemen und -gebiete erforderliche Kompetenz, ebenso wie die benötigte Grundausstattung, muss bei den Hochschulen bereits vorhanden sein. Aus diesem Grund ist von den potentiellen Antragstellern bereits mit Einreichen des Investitionskonzepts zu bestätigen, dass die Investitionen im Rahmen des geplanten Vorhabens nicht der Grundausstattung der Hochschule zuzurechnen sind bzw. ist ausführlich zu begründen, warum eine Nutzung der vorhandenen Ausstattung ausnahmsweise nicht möglich oder nicht wirtschaftlich sein sollte.

Die Förderung wird ausschließlich für nichtwirtschaftliche Tätigkeiten gemäß Nummer 2.1.1 (insbesondere Randnummern 18 und 20) des Unionsrahmens für staatliche Beihilfen zur Förderung von Forschung, Entwicklung und Innovation gewährt (ABl. C 198 vom 27.6.2014, S. 1).

Nicht gefördert werden der Bau von Gebäuden oder sonstiger Infrastruktur. Personalkosten werden ausschließlich im notwendigen Maße zur Inbetriebnahme der Gerätschaften gefördert. Für die Finanzierung der für den Betrieb der Anlagen und Geräte notwendigen Personal-, Sach- und Folgekosten während und nach der Fördermaßnahme ist durch den Zuwendungsempfänger ein Finanzierungskonzept vorzulegen. Mit dem Antrag ist zu bestätigen, dass für den Zuwendungsgeber nach Laufzeitende keine Folgekosten entstehen werden.

Die Partner eines Verbundvorhabens regeln ihre Zusammenarbeit in einer schriftlichen Kooperationsvereinbarung. Vor der Förderentscheidung über ein Verbundvorhaben muss eine grundsätzliche Übereinkunft über bestimmte vom BMBF vorgegebene Kriterien nachgewiesen werden. Einzelheiten sind dem "Merkblatt für Antragsteller/Zuwendungsempfänger zur Zusammenarbeit der Partner von Verbundprojekten", das von Antragstellern und Zuwendungsempfängern zu beachten ist, zu entnehmen (BMBF-Vordruck Nr. 0110, Fundstelle; https://foerderportal.bund.de/easy/easy_index.php?auswahl=easy_formulare; Bereich BMBF ; Allgemeine Vordrucke und Vorlagen für Berichte).

5 Art, Umfang und Höhe der Förderung

Die Förderung nach dieser Richtlinie erfolgt im Wege der Projektförderung in Form von nicht rückzahlbaren Zuschüssen.

Bemessungsgrundlage für Hochschulen und vergleichbare Institutionen sind die zuwendungsfähigen, projektbezogenen Ausgaben, die individuell bis zu 100 % gefördert werden können. Die Förderung des Bundes umfasst keine Ausgaben zur Deckung der Grundausstattung.

Allgemeine Hinweise zu zuwendungsfähigen Ausgaben können den Richtlinien für Zuwendungsanträge auf Ausgabenbasis (AZA) entnommen werden. Sämtliche Unterlagen sind zu finden unter: https://foerderportal.bund.de/easy/easy_index.php?auswahl=easy_formulare&formularschrank=bmbf

6 Sonstige Zuwendungsbestimmungen

Bestandteil eines Zuwendungsbescheids auf Ausgabenbasis werden grundsätzlich die Nebenbestimmungen für Zuwendungen auf Ausgabenbasis des BMBF zur Projektförderung (NABF), sowie zusätzlich die BNBest-mittelbarer Abruf-BMBF, sofern die Zuwendungsmittel im sogenannten Abrufverfahren bereitgestellt werden.

Die Bereitschaft des Zuwendungsempfängers, künftig die gemeinsame Öffentlichkeitsarbeit der Förderinitiative sowie Netzwerkaktivitäten zum Wissensaustausch aktiv zu unterstützen (z. B. durch die Einrichtung einer Webseite, Verwendung eines gemeinsamen Logos, Teilnahme an gemeinsamen Veranstaltungen), ist zu erklären.

7 Verfahren

7.1 Einschaltung eines Projektträgers, Antragsunterlagen, sonstige Unterlagen und Nutzung des elektronischen Antragssystems

Mit der Abwicklung der Fördermaßnahme hat das BMBF derzeit folgenden Projektträger beauftragt:

VDI/VDE Innovation + Technik GmbH
Projektträger "Elektronik; Autonomes elektrisches Fahren" des BMBF
Steinplatz 1
10623 Berlin

Soweit sich hierzu Änderungen ergeben, wird dies im Bundesanzeiger oder in anderer geeigneter Weise bekannt gegeben. Zentrale Ansprechpartner sind:

Dr. Sophie Böhme
VDI/VDE Innovation + Technik GmbH
+ 49 (0) 30/31 00 78 54 94
forlab@vdivde-it.de

Dr. Elisabeth Steimetz
VDI/VDE Innovation + Technik GmbH
+ 49 (0) 30/3 10 07 82 56
forlab@vdivde-it.de

Vordrucke für Förderanträge, Richtlinien, Merkblätter, Hinweise und Nebenbestimmungen können beim Projektträger angefordert sowie unter folgender Adresse abgerufen werden: http://www.vdivde-it.de/projektfoerderung/dokumente-fuer-die-projektfoerderung

7.2 Zweistufiges Verfahren

Das Antragsverfahren ist zweistufig angelegt. In der ersten Verfahrensstufe reicht der Projektleiter ein Investitionskonzept beim zuständigen Projektträger ein. Die Entscheidung zur Weiterverfolgung der Konzeptidee wird entsprechend der in Nummer 7.2.1 benannten Kriterien gefällt. Ausschließlich die zur Weiterverfolgung ausgewählten Vorhaben werden in der zweiten Verfahrensstufe schriftlich zur Einreichung förmlicher Förderanträge und weiterer Antragsunterlagen aufgefordert (siehe Nummer 7.2.2).

7.2.1 Vorlage und Auswahl von Investitionskonzepten (Verfahrensstufe 1)

In der ersten Verfahrensstufe ist beim Projektträger VDI/VDE Innovation + Technik GmbH bis zum Stichtag 30. April 2018

ein Investitionskonzept in deutscher Sprache einzureichen. Investitionskonzepte, die nach dem oben angegebenen Zeitpunkt eingehen, können möglicherweise nicht mehr berücksichtigt werden. Das Investitionskonzept ist unter Verwendung des elektronischen Skizzenassistenten im pdf-Format unter folgendem Link einzureichen: https://www.vdivde-it.de/submission/bekanntmachungen/forlab

Bei Verbundvorhaben sind die Investitionskonzepte in Abstimmung mit dem vorgesehenen Verbundkoordinator vorzulegen. Zusammen mit dem Konzept ist eine vom Koordinator unterzeichnete Bestätigung der Richtigkeit der in dem Konzept gemachten Angaben als Anhang zum Investitionskonzept über den elektronischen Skizzenassistenten einzureichen (im Falle eines gruppenübergreifenden Investitionskonzepts müssen alle Vertreter gegenzeichnen). Dieses Konzept darf einen Umfang von 20 DIN-A4-Seiten inklusive Deckblatt und Anlagen nicht überschreiten (Schriftart Arial, Schriftgröße mindestens 11 Pkt., 1,5-facher Zeilenabstand, Seitenränder mindestens 2 cm).

Das fachlich beurteilbare Investitionskonzept muss auch eine grobe Finanzplanung beinhalten. Im Investitionskonzept sollen die Ziele und das Nutzungskonzept vor dem Hintergrund des aktuellen Stands von Forschung und Technologie erläutert werden. Für die geplanten Investitionen muss eine überzeugende Begründung des wissenschaftlichen Neuigkeitsgrads der geplanten Nutzung vorgelegt und in einem größeren Gesamtkontext dargestellt werden. Zusätzlich muss in dem Investitionskonzept die wissenschaftliche Exzellenz und künftige wirtschaftliche Relevanz des angestrebten Forschungsthemas im nationalen und internationalen Vergleich dargestellt werden.

Das Investitionskonzept sollte folgender Gliederung folgen:

1. Deckblatt mit Kontaktdaten (Name, Adresse, Telefon, E-Mail-Adresse) des Projektleiters und Tabelle „Abschätzung des Investitionsbedarfs“ (bei Verbundvorhaben auch Angaben zur koordinierenden Stelle und Benennung des ­Koordinators),
2. Zusammenfassung des geplanten Investitionskonzepts (maximal eine Seite: Titel, Akronym, durch die Investition(en) realisierbare Innovationen und Potentiale für die weitere Nutzung),
3. Motivation und Zielsetzung der geplanten Nutzung der Investition(en),
4. Vergleich der geplanten Investition(en) gegenüber der bestehenden Ausstattung und dem aktuellen Stand der Technik,
5. Zeitplan für die Umsetzung der geplanten Investition(en),
6. Nutzungsplan mit einem Zeithorizont von mindestens fünf Jahren,
7. Finanzierungskonzept für den Betrieb der Investition(en) während und nach der Fördermaßnahme,
8. Abgrenzung von in der Vergangenheit bzw. laufend geförderten Investition(en) in die (Grund-)Ausstattung, insbesondere im Rahmen der DFG- oder FMD-Förderung,
9. wissenschaftliche und künftige wirtschaftliche Relevanz,
10. Kurzdarstellung der beantragenden Einrichtung und Nachweis über die vorhandene Expertise auf dem adressierten Themengebiet der Mikroelektronik (im Falle eines gruppenübergreifenden Investitionskonzepts für alle Lehrstühle, Professuren oder Nachwuchsgruppen).

Es steht den Interessenten frei, weitere Punkte anzufügen, die ihrer Auffassung nach für eine Beurteilung ihres Vorschlags von Bedeutung sind. Es wird empfohlen, vor der Einreichung des Investitionskonzepts mit dem Projektträger VDI/VDE Innovation + Technik GmbH Kontakt aufzunehmen.

Die eingegangenen Investitionskonzepte stehen im Wettbewerb zueinander und werden insbesondere nach folgenden Kriterien bewertet:

• Neuigkeitsgrad, wissenschaftliche und künftige wirtschaftliche Relevanz des angestrebten Forschungsthemas, -gebietes oder Ansatzes,
• zu erwartende Querschnitts- und Breitenwirkung,
• wissenschaftliche Expertise der Einrichtung(en) auf dem jeweiligen Fachgebiet,
• Qualität von Nutzungsplan und Finanzierungskonzept während und nach der Fördermaßnahme,
• überregionale Bedeutung der geförderten Einrichtung und ihre (inter-)nationale Ausstrahlungskraft,
• Synergieeffekte kooperativer Ansätze,
• Beteiligung, Einbindung und Stärkung von Nachwuchsgruppen,
• Abgrenzung zur Förderung durch Dritte (z. B. DFG-Gerätezentren).

Entsprechend der oben angegebenen Kriterien und Bewertung werden die für eine Förderung geeigneten Investitionskonzepte ausgewählt. Das BMBF wird sich bei der Bewertung der vorgelegten Investitionskonzepte durch unabhängige Expertinnen und Experten beraten lassen. Das Votum des Gutachtergremiums hat empfehlenden Charakter. Das Auswahlergebnis wird den Verfassern der Investitionskonzepte schriftlich mitgeteilt.

Aus der Vorlage des Investitionskonzepts kann kein Rechtsanspruch auf Förderung abgeleitet werden. Ferner besteht kein Rechtsanspruch auf Rückgabe eines eingereichten Investitionskonzepts und eventuell weiterer vorgelegter Unterlagen, die im Rahmen dieser Verfahrensstufe eingereicht werden.

7.2.2 Vorlage förmlicher Förderanträge und Entscheidungsverfahren (Verfahrensstufe 2)

In der zweiten Verfahrensstufe werden die Verfasser der positiv bewerteten Investitionskonzepte unter Angabe detaillierter Informationen, der formalen Kriterien und eines Termins schriftlich aufgefordert, vollständige förmliche Förderanträge vorzulegen. Inhaltliche oder förderrechtliche Auflagen sind in den förmlichen Förderanträgen zu beachten und umzusetzen. Aus der Aufforderung zur Antragstellung kann kein Förderanspruch abgeleitet werden. Zur Erstellung der förmlichen Förderanträge ist das elektronische Antragssystem "easy-Online" zu nutzen: https://foerderportal.bund.de/easyonline

Nach abschließender Prüfung der förmlichen Förderanträge entscheidet das BMBF auf Basis der verfügbaren Haushaltsmittel und nach den in Nummer 2 sowie in Nummer 7.2.1 genannten Kriterien durch Bescheid über die Bewilligung der vorgelegten Anträge. Aus der Vorlage eines förmlichen Förderantrags kann kein Rechtsanspruch auf eine Förderung abgeleitet werden. Es besteht ferner kein Rechtsanspruch auf Rückgabe eines eingereichten Förderantrags.

7.3 Zu beachtende Vorschriften

Für die Bewilligung, Auszahlung und Abrechnung der Zuwendung sowie für den Nachweis und die Prüfung der ­Verwendung und die gegebenenfalls erforderliche Aufhebung des Zuwendungsbescheids und die Rückforderung der gewährten Zuwendung gelten die Verwaltungsvorschriften zu § 44 BHO sowie die §§ 48 bis 49a des Verwaltungs­verfahrensgesetzes, soweit nicht in dieser Förderrichtlinie Abweichungen zugelassen wurden.

8 Angebot einer Informationsveranstaltung

Interessenten wird die Möglichkeit geboten, am 1. Februar 2018 an einer Informationsveranstaltung teilzunehmen. In dieser werden der Inhalt der Förderrichtlinie sowie Prozess und Verfahren der Antragstellung erläutert. Informationen zu dieser Veranstaltung erhalten Interessenten online beim Projektträger unter: http://www.vdivde-it.de/veranstaltungen .

9 Geltungsdauer

Diese Richtlinie tritt am Tag nach ihrer Veröffentlichung im Bundesanzeiger in Kraft und ist bis zum Ablauf des 31. Dezember 2021 gültig.

Bonn, den 14. Dezember 2017

Bundesministerium für Bildung und Forschung

Im Auftrag
H. Riehl

¹ - https://www.forschungsfabrik-mikroelektronik.de/