1. Zuwendungszweck, Rechtsgrundlagen

1.1. Zuwendungszweck

Das Rahmenprogramm Mikrosysteme ordnet sich in die übergeordneten forschungspolitischen Zielstellungen der Innovationsförderung des BMBF ein. Dabei geht es darum, sowohl Innovationen für die kurzfristige industrielle und gesellschaftliche Wertschöpfung zu realisieren als auch Zukunftsfelder zu erschließen und damit das Potenzial für künftige Innovationen zu gestalten. Hinzu kommt in der Wissensgesellschaft die immer engere Verknüpfung von Aus- und Weiterbildung mit der fortschreitenden Entwicklung von Technologien.

Die 2002 erarbeitete Evaluation hat das Zukunftspotenzial der Mikrosystemtechnik (MST) und die bisher erreichten Ergebnisse untersucht. Die Evaluation hat der bisherigen Förderung der MST eine hohe Wirksamkeit bescheinigt und die hohe Relevanz der MST für den Industriestandort Deutschland unterstrichen. Trotz der vorangeschrittenen Entwicklung bestehen auch in der gegenwärtigen Situation zahlreiche Hindernisse im Innovationsprozess der MST, die ein staatliches Handeln erfordern. Das Ziel des Rahmenprogramms Mikrosysteme ist es, in den am Standort Deutschland relevanten Branchen mit der Anwendung von Mikrosystemtechnik bzw. dem Einsatz von Mikrosystemen Innovationen zu fördern, die ihre Position im globalen Wettbewerb langfristig sichern und ausbauen helfen. Um eine größtmögliche wirtschaftliche und gesellschaftliche Hebelwirkung zu erzielen, wird die anwendungsorientierte Technologieförderung auf Schwerpunktaufgaben gerichtet.

Die Vielzahl der in der Mikrosystemtechnik zum Einsatz kommenden Mikrotechniken, die unterschiedlichsten physikalischen Wirkprinzipien von Sensoren und Aktoren sowie der meist hybride Aufbau der Systeme führen zu einem komplexen Systemverhalten, das einerseits die Ursache für die enorme Leistungsfähigkeit der Mikrosysteme ist, andererseits resultiert hieraus aber auch ein hoher Entwicklungsaufwand. Der zielgerichtete Einsatz von rechnergestützten Werkzeugen für den Entwurf und die Simulation hilft den Entwicklungsaufwand zu reduzieren, die Entwicklung zu beschleunigen, die Leistungsfähigkeit der Systeme zu verbessern und damit die Chancen für eine wirtschaftlich erfolgreiche Umsetzung deutlich zu steigern.

Die meisten in der Mikrosystemtechnik arbeitenden kleinen und mittleren Unternehmen sind jedoch heute noch nicht in der Lage, komplexe Entwicklungen von Mikrosystemen oder Mikrosystemkomponenten mit rechnergestützten Entwurfsverfahren aus eigener Kraft durchzuführen, da sie weder über hinreichende Erfahrung mit diesen Methoden noch über die entsprechenden Werkzeuge verfügen. Um diesen Unternehmen den Zugang zu einer wirtschaftlichen Nutzung der Mikrosystemtechnik zu erleichtern, sollen Entwicklungen komplexer Mikrosysteme, die ohne den Einsatz von Entwurfswerkzeugen nicht zu leisten sind, unterstützt werden.

1.2 Rechtsgrundlagen

Vorhaben werden nach Maßgabe dieser Richtlinien in Verbindung mit den Standardrichtlinien des BMBF für Anträge auf Projektförderung (auf Ausgaben- bzw. Kostenbasis) und der Verwaltungsvorschriften zu § 44 der Bundeshaushaltsordnung (BHO) durch Zuwendung gefördert. Ein Anspruch auf Gewährung einer Zuwendung besteht nicht. Vielmehr entscheidet die Bewilligungsbehörde aufgrund ihres pflichtgemäßen Ermessens. Die Fördermaßnahme steht unter dem Vorbehalt, dass dem BMBF die zur Durchführung erforderlichen Haushaltsmittel und Verpflichtungsermächtigungen zur Verfügung stehen. Voraussichtlich werden insgesamt 2,5 Mio EUR bereitgestellt.

2. Gegenstand der Förderung

Der Entwurf mikrosystemtechnischer Komponenten und Systeme stellt hohe Anforderungen an den Entwickler und die eingesetzten Entwurfswerkzeuge. Typisch für die Mikrosystemtechnik sind das Zusammenwirken unterschiedlicher physikalischer und chemischer Größen und die daraus resultierenden gegenseitigen Beeinflussungen der Systemkomponenten untereinander, aber auch der meist hohe Integrationsgrad der Systeme. Die hohe Komplexität der daraus entstehenden Entwurfsaufgaben kann nur durch Einsatz von Entwurfswerkzeugen beherrscht werden, die diesen Randbedingungen Rechnung tragen.

Eine durchgängige Entwurfsunterstützung, wie sie zum Beispiel in der Mikroelektronik weitgehend gegeben ist, ist auf absehbare Zeit in der Mikrosystemtechnik nicht möglich. Gleichwohl ist eine Reihe von ausgereiften Werkzeugen am Markt verfügbar, mit denen einzelne Entwurfsphasen bereits gut abgedeckt werden können. Durch deren Nutzung können die Entwicklungszeiten bereits deutlich verkürzt und die Entwicklungskosten insgesamt gesenkt werden. Allerdings ist die Werkzeugkette für den Entwurf von Mikrosystemen heute nur in den seltensten Fällen geschlossen. Hinzu kommt, dass viele der einsetzbaren Werkzeuge in der Regel zunächst für andere Anwendungen entwickelt worden sind und dort auch ihr primäres Einsatzfeld haben. Durch gezielte zusätzliche Entwicklungen und Modellbibliotheken sind sie jedoch inzwischen auch sehr gut für die Mikrosystemtechnikentwicklung einsetzbar.

Werkzeuge für den MST-Entwurf werden auf unterschiedlichen technologischen Ebenen benötigt. Auf der Prozess oder Technologieebene kommen Werkzeuge wie zum Beispiel Ätzsimulatoren zur Anwendung, mit denen die Erzeugung von Mikrostrukturen durch nasschemisches Ätzen in Silizium beschrieben werden kann. Auf der Deviceebene werden die einzelnen Komponenten modelliert und simuliert. Hierfür werden zur Untersuchung mikromechanischer Strukturen zum Beispiel FEM-Simulatoren eingesetzt. Auf der Netzwerkebene wird das Verhalten von einfachen Teilsystemen beschrieben und simuliert oder auch das Zusammenwirken der elektrischen Komponenten der Signalverarbeitungsfunktionen eines Mikrosystems. Schließlich werden Werkzeuge benötigt, die, auf der Systemebene eingesetzt, in der Lage sind, das Zusammenwirken der einzelnen Komponenten eines Mikrosystems zu beschreiben und das Verhalten des Gesamtsystems zu simulieren.

Gegenstand der Förderung sind Projekte zur Entwicklung und Weiterentwicklung von Mikrosystemen oder komplexen Mikrosystemkomponenten in kleinen und mittelständischen Unternehmen, wenn dabei bisher im Unternehmen noch nicht eingesetzte rechnergestützte Entwurfswerkzeuge zur Anwendung kommen. Deren Einführung und erstmalige Nutzung müssen an das Unternehmen nicht unerhebliche personelle und finanzielle Anforderungen stellen. Die einzuführenden Werkzeuge müssen nicht auf ein bestimmtes Technologiefeld innerhalb der Mikrosystemtechnik ausgerichtet sein.

Förderfähig sind Projekte auch dann, wenn bereits im Unternehmen für andere Produktentwicklungen genutzte Werkzeuge in Verbindung mit mikrosystem-spezifischen Modellbibliotheken oder Add-on-Werkzeugen erstmals für die Entwicklung von Mikrosystemen zum Einsatz kommen und damit ein nicht unerheblicher personeller und finanzieller Aufwand verbunden ist.

3. Zuwendungsempfänger

Antragsberechtigt sind Unternehmen der gewerblichen Wirtschaft, deren Jahresumsatz 40 Mio. Euro bzw. deren Bilanzsumme 27 Mio. Euro nicht übersteigt und die höchstens 250 Mitarbeiter haben.

4. Zuwendungsvoraussetzungen

Die notwendigen Forschungs- und Entwicklungsarbeiten sind unter Berücksichtigung und Darstellung der technischen und wirtschaftlichen Risiken zu planen. Notwendige Voraussetzung für die Förderung ist, dass die Entwicklung der komplexen Mikrosysteme oder Mikrosystemkomponenten nur durch den Einsatz rechnergestützter Entwurfswerkzeuge möglich ist, die Entwurfsphase einen erheblichen Anteil des Entwicklungsvorhabens ausmacht und dabei bisher im Unternehmen noch nicht eingesetzte rechnergestützte Entwurfswerkzeuge zur Anwendung kommen. Deren Einführung und erstmalige Nutzung müssen an das Unternehmen nicht unerhebliche personelle und finanzielle Anforderungen stellen.
Die Entwicklungsarbeiten sollen in enger Zusammenarbeit (Zuarbeit im Rahmen von Aufträgen) mit Forschungseinrichtungen oder weiteren Unternehmen, die über fundierte Erfahrungen und Kenntnisse in der Entwicklung von Mikrosystemen und der Nutzung der einschlägigen Entwurfswerkzeuge verfügen, durchgeführt werden. Die Zusammenarbeit muss so angelegt sein, dass die geförderten Unternehmen nach Abschluss der Vorhaben in der Lage sind, zukünftige Entwicklungen von Mikrosystemen mit rechnergestützten Entwurfswerkzeugen eigenständig durchzuführen.

Nicht gefördert werden Vorhaben, wenn für die Entwicklung nur im Unternehmen bereits genutzte Werkzeuge eingesetzt werden, die neu eingeführten Werkzeuge für die geplante Entwicklung nicht sinnvoll genutzt werden können, wenn bereits Werkzeuge ähnlicher Funktionalität im Unternehmen für die Mikrosystem-Entwicklung genutzt werden oder die entwickelten Systeme und Komponenten im Unternehmen nicht gefertigt werden können.

Nicht förderfähig sind der erstmalige Einsatz von Datenbanken beispielsweise für Erfassung und Bereitstellung von Materialdaten, die Beschaffung von zusätzlichen Modellbibliotheken, die lediglich die bereits im Unternehmen eingesetzten Werkzeuge ergänzen. Ebenfalls nicht förderfähig im Sinne der Richtlinie sind die erstmalige Anwendung von eigenentwickelten Werkzeugen, Werkzeugen für den mechanischen 2/3D-Entwurf und Werkzeugen, die ausschließlich für die Nutzung in der Mikroelektronik und im Schaltungsentwurf bestimmt sind.

Die Unternehmen müssen bei Einreichung der Projektskizze darstellen, welche Entwurfswerkzeuge schon im Unternehmen eingesetzt werden.

5. Art, Umfang und Höhe der Zuwendung

Zuwendungen werden im Wege der Projektförderung als nicht rückzahlbare Zuschüsse für die Realisierung erfolgversprechender Lösungsansätze und entsprechender Demonstratoren gewährt. Die Projektlaufzeit sollte 18 Monate und die Höhe der zuwendungsfähigen Projektkosten 250 T Euro nicht wesentlich überschreiten.

Bemessungsgrundlage für Zuwendungen an Unternehmen der gewerblichen Wirtschaft sind die zuwendungsfähigen projektbezogenen Kosten, die in der Regel bis zu 50% anteilfinanziert werden können. Nach BMBF-Grundsätzen wird eine angemessene Eigenbeteiligung - grundsätzlich mindestens 50% der entstehenden zuwendungsfähigen Kosten - vorausgesetzt.

Die Bemessung der jeweiligen Förderquote muss den Gemeinschaftsrahmen der EU-Kommission für staatliche FuE-Beihilfen berücksichtigen. Dieser Gemeinschaftsrahmen lässt für Antragsteller aus den Neuen Bundesländern und für Kleine und Mittlere Unternehmen (KMU) eine differenzierte Bonusregelung zu.

6. Sonstige Zuwendungsbestimmungen

Die Nebenbestimmungen für Zuwendungen auf Kostenbasis des BMBF an Unternehmen der gewerblichen Wirtschaft für Forschungs- und Entwicklungsvorhaben (NKBF 98) werden Bestandteil eines Zuwendungsbescheides.

7. Verfahren

7.1 Einschaltung eines Projektträgers und Anforderung von Unterlagen

Mit der Abwicklung dieser Fördermaßnahme hat das BMBF seinen Projektträger Mikrosystemtechnik, die
VDI/VDE-IT
Rheinstraße 10 B
14513 Teltow
03328 435-101
https://www.foerderinfo.bund.de/de/neue-werkstoffe-und-materialien-198.php

beauftragt.

Die Vordrucke für förmliche Förderanträge sowie Richtlinien, Merkblätter, Hinweise und Nebenbestimmungen können über das http://www.kp.dlr.de/profi/easy abgerufen werden.

Auf Anforderung stellt auch der Projektträger die Unterlagen zur Verfügung. Dort sind auch weitere Informationen und Erläuterungen erhältlich.

Auf die mögliche Nutzung des elektronischen Antragssystems „ http://www.kp.dlr.de/profi/easy “ - auch für Projektskizzen - wird hingewiesen.

7.2 Vorlage von Projektskizzen

Das Förderverfahren ist zweistufig.

Zunächst sind beim Projektträger ab sofort bis 30.9.2005 Projektskizzen in deutscher Sprache einzureichen. Die Vorlagefrist gilt nicht als Ausschlussfrist. Verspätet eingehende Projektskizzen können aber möglicherweise nicht mehr berücksichtigt werden.
Projektskizzen sollten möglichst unter Nutzung von „easy“ in elektronischer Form vorgelegt werden: www.vdi.de/tz-pt

Zusätzlich ist eine Vorlage in Schriftform erforderlich.

Es wird empfohlen, vor der Einreichung der Projektskizzen mit dem Projektträger VDI/VDE-IT Kontakt aufzunehmen.
Projektskizzen sollen einen Umfang von 10 DIN A4-Seiten inkl. Anlagen nicht überschreiten. Sie müssen ein fachlich beurteilbares Grobkonzept und eine grobe Finanzplanung beinhalten. Im Grobkonzept sollen die Ziele des Projektes und das Arbeitsprogramm sowie der geplante Einsatz eines neuen Entwurfswerkzeugs vor dem Hintergrund des aktuellen Standes von Forschung und Technologie sowie der Relevanz für die Mikrosystemtechnik erläutert werden.

Für die geplanten Forschungs- und Entwicklungsarbeiten muss eine überzeugende wissenschaftliche Begründung sowie ein Verwertungskonzept vorgelegt werden. In diesem müssen Marktpotenziale und Verwertungsmöglichkeiten unter Berücksichtigung der Wettbewerbssituation und der späteren Wertschöpfung in Deutschland dargestellt werden.

Die Gliederung der Projektskizze sollte die im Folgenden aufgeführten Kapitel umfassen und auf die jeweils aufgeführten Themen eingehen:

1. I Ziele
   • Thema des Projektes,
   • Gesamtziel und Zusammenfassung der Projektbeschreibung,
   • Bezug des Projektes zu diesen Förderrichtlinien,
   • wissenschaftliche und technische Arbeitsziele des Projektes.
2. Angaben zum Unternehmen
   • Projektleiter und Kontaktdaten (Name mit Anschrift sowie Telefon- und Telefaxnummer, E-Mail
     Adresse),
   • beteiligte Unternehmen und Einrichtungen (Adresse, Ansprechpartner),
   • bisherige Arbeiten des Antragstellers insbesondere mit Bezug zu den Zielen des Projektes,
   • Angaben zu den bisher im Unternehmen eingesetzten Entwurfswerkzeugen.
3. Vorhabenbeschreibung Gesamtkonzept
   • Problembeschreibung,
   • Vergleich mit dem internationalen Stand der Technik,
   • thematische Zielsetzung mit Bezug zur Bekanntmachung und zum Rahmenprogramm Mikrosysteme.
4. Beschreibung des Arbeitsplanes
   • Beschreibung der Arbeitspakete,
   • Gantt-Chart,
   • Meilensteine mit Abbruchkriterien,
   • Zusammenarbeit mit Dritten.
5. Verwertungsplan
   • Wissenschaftlich-technische und wirtschaftliche Erfolgsaussichten,
   • Vorteile gegenüber konkurrierenden Lösungsansätzen,
   • Vermarktungskonzept mit Zeithorizont:
     • Wie sollen die Projektergebnisse nach Ablauf des Vorhabens genutzt werden?
     • Wie groß werden die erzielbaren Umsätze/Einsparungen sein?
   • Öffentlichkeitsarbeit und projektübergreifende Ergebnisverwertung,
   • beabsichtigter Umgang mit Rechten und Patenten,
   • Wirkung auf Arbeitsplätze und ökologische Aspekte.
6. Notwendigkeit der Zuwendung
   • Wissenschaftlich-technisches und wirtschaftliches Risiko,
   • grobes finanzielles Mengengerüst,
   • tabellarische Finanzierungsübersicht,
   • ggf. Beiträge anderer Geldgeber,

Es steht den Antragstellern frei, weitere Punkte anzufügen, die nach ihrer Auffassung für eine Beurteilung ihres Vorschlages von Bedeutung sind.
Aus der Vorlage einer Projektskizze können keine Rechtsansprüche abgeleitet werden.

7.3 Auswahl- und Entscheidungsverfahren

Die Auswahl der förderfähigen Projekte erfolgt durch das BMBF auf der Basis der vorgelegten Skizzen. Dabei werden u. a. folgende Kriterien zu Grunde gelegt:

• Einordnung in den thematischen Schwerpunkt der Bekanntmachung,
• wissenschaftlich-technische Qualität der Projektskizze und Anwendungsbezug,
• Neuheit und Innovationsgehalt des Lösungsansatzes,
• KMU-Ausrichtung,
• Qualität des Verwertungskonzeptes,
• Angemessenheit der geplanten finanziellen Aufwendungen.

Über das Ergebnis der Bewertung der Projektskizzen werden die Antragsteller vom Projektträger schriftlich informiert. Antragsteller positiv bewerteter Skizzen werden in einer zweiten Verfahrensstufe zur Vorlage eines förmlichen Förderantrags aufgefordert. Informationen zur förmlichen Antragstellung werden rechtzeitig an die ausgewählten Bewerber versandt.

Über die vorgelegten Förderanträge wird abschließender Prüfung im Rahmen der zur Verfügung stehenden Haushaltsmittel entschieden. Sollten die zur Verfügung stehenden Haushaltsmittel nicht ausreichen, um alle positiv bewerteten Anträge zu fördern, stehen die Anträge im Wettbewerb zueinander.

Für die Bewilligung, Auszahlung und Abrechnung der Zuwendung sowie für den Nachweis und die Prüfung der Verwendung und die ggf. erforderliche Aufhebung des Zuwendungsbescheides und die Rückforderung der gewährten Zuwendung gelten die VV zu § 44 BHO sowie §§ 48 bis 49a VwVfG, soweit nicht in diesen Förderrichtlinien Abweichungen zugelassen worden sind.

8. Inkrafttreten

Diese Förderrichtlinien treten mit dem Tag der Veröffentlichung im Bundesanzeiger in Kraft.

Bonn, den 19.08.2004

Bundesministerium für Bildung und Forschung
Im Auftrag

Dr. Finking