1. Zuwendungszweck, Rechtsgrundlagen

1.1. Zuwendungszweck

Das Rahmenprogramm Mikrosysteme ordnet sich in die übergeordneten forschungspolitischen Zielstellungen der Innovationsförderung des BMBF ein. Dabei geht es darum, sowohl Innovationen für die kurzfristige industrielle und gesellschaftliche Wertschöpfung zu realisieren als auch Zukunftsfelder zu erschließen und damit das Potenzial für künftige Innovationen zu gestalten. Hinzu kommt in der Wissensgesellschaft die immer engere Verknüpfung von Aus- und Weiterbildung mit der fortschreitenden Entwicklung von Technologien.

Die 2002 erarbeitete Evaluation hat das Zukunftspotenzial der MST und die bisher erreichten Ergebnisse untersucht. Die Evaluation hat der bisherigen Förderung der MST eine hohe Wirksamkeit bescheinigt und die hohe Relevanz der MST für den Industriestandort Deutschland unterstrichen. Trotz der vorangeschrittenen Entwicklung bestehen auch in der gegenwärtigen Situation zahlreiche Hindernisse im Innovationsprozess der MST, die ein staatliches Handeln erfordern.

Das Ziel des Rahmenprogramms Mikrosysteme ist es, in den am Standort Deutschland relevanten Branchen mit der Anwendung von Mikrosystemtechnik bzw. dem Einsatz von Mikrosystemen Innovationen zu fördern, die ihre Position im globalen Wettbewerb langfristig sichern und auszubauen helfen. Um eine größtmögliche wirtschaftliche und gesellschaftliche Hebelwirkung zu erzielen, wird die anwendungsorientierte Technologieförderung auf Schwerpunktaufgaben gerichtet. Diese Bekanntmachung greift Themenfelder von großer Bedeutung für eine wettbewerbsfähige MST-Produktion auf.

Die heute verfügbare Messtechnik für die Fertigung von Mikrosystemen basiert häufig auf etablierten Messverfahren für die Mikroelektronik, Feinwerktechnik und Materialanalyse. Die speziellen Anforderungen der Mikrosystemtechnik werden dabei nur unzureichend berücksichtigt. In der Folge hat die Mess- und Prüftechnik sich zu einem Engpass bei der industriellen Produktion von Mikrosystemen entwickelt. Auch die wachsende Anzahl der Schnittstellen in der MST-Wertschöpfungskette erfordert eine effektive Qualitätssicherung, um Fehler zurück zu verfolgen und beseitigen zu können.

Wesentliche Schwachstellen sind unzureichende messtechnische Parameter der heute verfügbaren Messgeräte (deren Genauigkeit, Auflösung, u. a.) und deren mangelnde Integrierbarkeit in Produktionsabläufe. Für einige messtechnische Aufgabenstellungen sind Lösungen erst ansatzweise bekannt und Geräte, wenn überhaupt, nur für den Laborbetrieb verfügbar. Auch sind einige metrologischen Fragen für die Vermessung von Mikrostrukturen und –systemen ungelöst.

Diese Mängel führen unmittelbar zu höheren Kosten und sinkender Wettbewerbsfähigkeit der MST-produzierenden Unternehmen und behindern die weitere Erschließung von Anwendungsfeldern. Die aus der Mikroelektronik bekannten Konzepte, insbesondere die Konzentration auf Funktionstests, lassen sich nur begrenzt in die Mikrosystemtechnik übertragen. Der Umfang des F&E-Bedarfs übersteigt die Leistungsfähigkeit einzelner Unternehmen in der überwiegend mittelständisch geprägten Messtechnik-Industrie deutlich.

Die erwarteten Forschungsergebnisse in diesem Themenfeld sollen entscheidend dazu beitragen, leistungsfähigere Messgeräte für den Einsatz in der Produktion von Mikrosystemen zu entwickeln. Für die MST-Produzenten als Messtechnik-Anwender wird ein qualitativer Sprung in der Umsetzung von Qualitätssicherungskonzepten angestrebt. Die aktive Mitwirkung deutscher Partner in internationalen Aktivitäten zu Normalen und Standards soll einen Beitrag zur Verbesserung der Exportchancen leisten. Die Wettbewerbsfähigkeit, insbesondere auch von KMU, ist zu sichern und auszubauen und damit Arbeitsplätze zu erhalten und zu schaffen.

1.2. Rechtsgrundlagen

Vorhaben werden nach Maßgabe dieser Richtlinien in Verbindung mit den Standardrichtlinien des BMBF für Anträge auf Projektförderung (auf Ausgaben- bzw. Kostenbasis) und der Verwaltungsvorschriften zu § 44 der Bundeshaushaltsordnung (BHO) durch Zuwendung gefördert. Ein Anspruch auf Gewährung einer Zuwendung besteht nicht. Vielmehr entscheidet die Bewilligungsbehörde aufgrund ihres pflichtgemäßen Ermessens. Die Fördermaßnahme steht unter dem Vorbehalt, dass dem BMBF die zur Durchführung erforderlichen Haushaltsmittel und Verpflichtungsermächtigungen zur Verfügung stehen.

2. Gegenstand der Förderung

Im Rahmen des thematischen Schwerpunktes „Mess- und Prüftechnik für den Test von Mikrosystemen (MSTPrüf)“ ist vorgesehen, eine begrenzte Zahl von industriell geführten Verbundprojekten zu fördern, die ausgehend von den spezifischen Problemen und dem spezifischen Bedarf der Fertigung von Mikrosystemen innovative Lösungen für die Mess- und Prüftechnik entwickeln. Diese Lösungen müssen deutlich über den aktuellen Stand der Technik hinausgehen. Der Begriff „Mess- und Prüftechnik“ steht im Sinne dieser Bekanntmachung für die Nutzung und Verifizierung von Messprinzipien, deren Kombination sowie die anwendergerechte gerätetechnische Umsetzung bis zum Demonstrator.

In den letzten Jahren wurden signifikante Fortschritte bei den Herstellungsverfahren von Mikrostrukturen gemacht. Die für die Qualitätssicherung in der MST-Produktion notwendige Messtechnik hat mit dieser Entwicklung nicht Schritt gehalten. Aus einer Reihe von möglichen Schwerpunkten wurden nachfolgend diejenigen ausgewählt, bei denen die Differenz zwischen dem Stand der Technik und den Anforderungen der MST-Produktion am größten sind.

Mit der Verkleinerung der Strukturen muss die Positioniertechnik zur Ermittlung ortsabhängiger Eigenschaften verbessert werden. Viele dreidimensionale Strukturen lassen sich mit heutiger Technik nicht vermessen. Die Bestimmung von speziellen Mikromaterialeigenschaften gewinnt vor dem Hintergrund der zunehmenden Nutzung von Nanostrukturen an Bedeutung.

Gegenstand der Förderung werden industrielle Verbundprojekte in den nachfolgend aufgeführten drei Themenfeldern sein:

• Messtechnik für Mikromaterialeigenschaften

  Für funktionelle Mikro- und Nano-Elemente ist die Charakterisierung ihrer Materialeigenschaften erforderlich. Dazu gehören beispielsweise solche Kenngrößen wie das Elastizitätsmodul, die Härte von Nanoschichten oder das tribologische Verhalten sowie die besonderen Eigenschaften von „soft Materials“.
  

• 3D-Mikromesstechnik

  Mit intelligenten Verknüpfungen von verschiedenen Messverfahren sind neue Lösungen zu finden, die bei hohen Ansprüchen an Genauigkeit und Messgeschwindigkeit auch bei komplexen Geometrien Messgrößen dreidimensional erfassen können.
  

• Mikro-Positioniertechnik

  Beispielhafte Ziele dieses Themenfeldes sind die Entwicklung von Aktoren für die Mikro-Messtechnik mit geringstem Energieverbrauch, die Sensorintegration in den Aktor oder ein breiter nutzbarer Geschwindigkeitsbereich.
  

Es sollen nur Konsortien gefördert werden, die zumindest einem der genannten Themenfelder zugeordnet werden können.

In allen genannten Themenfeldern werden solche Projekte vorrangig berücksichtigt, deren messtechnische Lösungen

• für den Einsatz im MST-Fertigungsumfeld geeignet sind und
• signifikante Verbesserungen bei der Qualitätssicherung mikrosystemtechnischer Komponenten in den ersten Stufen der Wertschöpfungskette („early production level testing“) oder kompletter Mikrosysteme am Ende der Wertschöpfungskette („Final Testing“) erwarten lassen.

Zu einer messtechnischen Lösung gehören neben der Entwicklung, Verifizierung und technischen Umsetzung von Messverfahren auch alle Teilaufgaben, um die ggf. notwendige Anregung und den Abgriff der Messgrößen im Fertigungsumfeld zu sichern. Nichttechnische Anforderungen sind beispielsweise der Betrieb ohne hochqualifiziertes Fachpersonal oder hohe Durchsatzraten. Im Konsortium muss daher in jedem Fall mindestens ein industrieller Anwender vertreten sein.

3. Zuwendungsempfänger

Antragsberechtigt im Rahmen von Verbundprojekten sind staatliche und nicht-staatliche Hochschulen, außeruniversitäre Forschungseinrichtungen sowie Unternehmen der gewerblichen Wirtschaft. Einrichtungen, die Mitglied der „Helmholtz-Gemeinschaft Deutscher Forschungszentren“ sind, müssen ihren Aufwand als Verbundpartner aus der institutionellen Förderung finanzieren.
An einem Verbund müssen mindestens zwei Unternehmen der gewerblichen Wirtschaft beteiligt sein. Verbünde mit signifikanter Mitwirkung kleiner und mittelständischer Unternehmen werden bevorzugt behandelt.

Als Ansprechpartner ist von den Partnern ein bevorzugt bei den beteiligten Unternehmen angesiedelter Koordinator zu benennen.

4. Zuwendungsvoraussetzungen

Die notwendigen Forschungs- und Entwicklungsarbeiten sind unter Berücksichtigung und Darstellung der technischen und wirtschaftlichen Risiken zu planen. Notwendige Voraussetzung für die Förderung ist das Zusammenwirken von Beteiligten aus der Wirtschaft mit der Wissenschaft zur Lösung von gemeinsamen Forschungsaufgaben (Verbundprojekte). Antragsteller müssen die Bereitschaft zur interdisziplinären Zusammenarbeit mitbringen und durch Vorarbeiten insbesondere im betreffenden Fachgebiet ausgewiesen sein. Ferner wird von den Antragstellern die Bereitschaft zur Zusammenarbeit mit anderen Konsortien erwartet.

Der Verbreitung der erreichten Ergebnisse und der Zusammenarbeit mit kompetenten Umsetzungsträgern zur Verwertung der Ergebnisse wird große Bedeutung beigemessen. An den Verbundprojekten müssen deshalb Partner beteiligt sein, welche die Forschungsergebnisse nach der Fertigstellung des Demonstrators zur breiten Anwendung bringen wollen und können. Die Partner haben ihre Zusammenarbeit in einer schriftlichen Kooperationsvereinbarung zu regeln. Vor der Förderentscheidung über ein Verbundprojekt muss eine grundsätzliche Übereinkunft der Kooperationspartner über bestimmte vom BMBF vorgegebene Kriterien nachgewiesen werden (vgl. https://foerderportal.bund.de/easy/easy_index.php?auswahl=easy_formulare&formularschrank=bmbf ).

Bereits bei der Konzepterstellung sollten sich die Konsortien mit dem http://www.rp6.de vertraut machen. Vor einer späteren Antragstellung beim BMBF ist zu prüfen, ob das beabsichtigte Projekt spezifische europäische Komponenten aufweist und damit eine ausschließliche EU-Förderung möglich ist. Sofern eine Antragstellung beim BMBF erfolgt, ist das Ergebnis der Prüfung darzustellen. Weiterhin müssen Antragsteller prüfen, inwieweit ergänzend ein Förderantrag bei der EU gestellt werden kann. Überlegungen und Planungen dazu sind mit dem Antrag auf Bundeszuwendung darzustellen.

5. Art, Umfang und Höhe der Zuwendungen

Zuwendungen werden im Wege der Projektförderung als nicht rückzahlbarer Zuschuss für die Realisierung erfolgversprechender Lösungsansätze und entsprechender Demonstratoren gewährt. Die Projektlaufzeit sollte 3 Jahre nicht wesentlich überschreiten.

Bemessungsgrundlage für Zuwendungen an Unternehmen der gewerblichen Wirtschaft sind die zuwendungsfähigen projektbezogenen Kosten, die in der Regel - je nach Anwendungsnähe des Projekts - bis zu 50% anteilfinanziert werden können. Nach BMBF-Grundsätzen wird eine angemessene Eigenbeteiligung - grundsätzlich mindestens 50% der entstehenden zuwendungsfähigen Kosten - vorausgesetzt. Unternehmen der gewerblichen Wirtschaft sollen sich im Rahmen eines Verbundprojekts möglichst an den Projektaufwendungen von Hochschulen, Forschungseinrichtungen und vergleichbaren Institutionen mit 10% beteiligen.

Bemessungsgrundlage für Hochschulen, Forschungseinrichtungen und vergleichbare Institutionen sind die zuwendungsfähigen projektbezogenen Ausgaben, bei der Fraunhofer-Gesellschaft (FhG) die zuwendungsfähigen projektbezogenen Kosten, die bis zu 100% gefördert werden können.
Die Bemessung der jeweiligen Förderquote muss den Gemeinschaftsrahmen der EU-Kommission für staatliche FuE-Beihilfen berücksichtigen. Dieser Gemeinschaftsrahmen lässt für Verbundprojekte von Antragstellern aus den Neuen Bundesländern und für Kleine und Mittlere Unternehmen (KMU) eine differenzierte Bonusregelung zu.

6. Sonstige Zuwendungsbestimmungen

Die allgemeinen und besonderen Nebenbestimmungen des BMBF werden Bestandteil der Zuwendungsbescheide

• für Zuwendungen auf Ausgabenbasis
  die Allgemeinen Nebenbestimmungen für Zuwendungen auf Ausgabenbasis (ANBest-P) und die Besonderen Nebenbestimmungen für Zuwendungen des BMBF zur Projektförderung auf Ausgabenbasis (BNBest-BMBF 98)
• für Zuwendungen auf Kostenbasis
  grundsätzlich die Nebenbestimmungen für Zuwendungen auf Kostenbasis des BMBF an Unternehmen der gewerblichen Wirtschaft für Forschungs- und Entwicklungsvorhaben (NKBF 98)

7. Verfahren

7.1. Einschaltung eines Projektträgers und Anforderung von Unterlagen

Mit der Abwicklung dieser Fördermaßnahme hat das BMBF seinen Projektträger Mikrosystemtechnik, die

VDI/VDE-IT
Rheinstraße 10 B
14513 Teltow
03328 435-101
http://www.mstonline.de/

beauftragt.

Es wird empfohlen, bereits bei der Konzepterstellung mit dem Projektträger Kontakt aufzunehmen. Weitere Informationen und Erläuterungen sind dort erhältlich.

Die Vordrucke für förmliche Förderanträge sowie Richtlinien, Merkblätter, Hinweise und Nebenbestimmungen können über das Internet http://www.kp.dlr.de/profi/easy werden.

Auf Anforderung stellt auch der Projektträger die Unterlagen zur Verfügung. Auf die mögliche Nutzung des elektronischen Antragssystems „ http://www.kp.dlr.de/profi/easy “ – auch für Projektkonzepte (Projektskizzen) wird hingewiesen.

7.2. Vorlage von Projektkonzepten

Die Auswahl der förderungswürdigen Anträge erfolgt in einem zweistufigen Wettbewerb.

In der ersten Stufe sind vom Koordinator eines Verbundprojekts formlose Projektkonzepte in deutscher Sprache beim zuständigen Projektträger einzureichen, die ein fachlich beurteilbares Grobkonzept und eine grobe Finanzplanung beinhalten. Im Grobkonzept sollen die Ziele des Verbundprojektes, die Organisationsstruktur und das Arbeitsprogramm des Konsortiums vor dem Hintergrund des aktuellen Standes von Forschung und Technologie sowie der Relevanz für die Mikrosystemtechnik erläutert werden.

Für die geplanten Forschungs- und Entwicklungsarbeiten muss eine überzeugende wissenschaftliche Begründung sowie ein Verwertungskonzept vorgelegt werden. In diesem müssen Marktpotenziale und Verwertungsmöglichkeiten unter Berücksichtigung der Wettbewerbssituation und der späteren Wertschöpfung in Deutschland dargestellt werden.

Weiterhin ist der projektbezogene Handlungsbedarf im Hinblick auf MST-gerechte Normale und Standards zu beschreiben. Es ist beabsichtigt, zu einem späteren Zeitpunkt dazu übergeordnete Aktivitäten zu definieren.
Die aussagekräftigen Projektkonzepte können ab sofort bis zum 19.06.2004 beim zuständigen Projektträger eingereicht werden. Die Vorlagefrist gilt nicht als Ausschlussfrist. Verspätet eingehende Projektkonzepte können aber möglicherweise nicht mehr berücksichtigt werden.

Für die Vorlage des Projektkonzeptes sollte das elektronische Verfahren unter

https://www.foerderinfo.bund.de/de/neue-werkstoffe-und-materialien-198.php

verwendet werden.

Der Umfang der Projektkonzepte soll 20 DIN A4-Seiten inkl. Anlagen nicht überschreiten. Die Gliederung des Projektkonzeptes sollte die im Folgenden aufgeführten Kapitel umfassen und auf die jeweils aufgeführten Themen eingehen:

1. Ziele
   • Thema des Verbundprojektes,
   • Gesamtziel des Verbundprojektes und Zusammenfassung der Projektbeschreibung
   • Bezug des Verbundprojektes zu dieser Bekanntmachung,
   • wissenschaftliche und technische Arbeitsziele des Verbundprojektes.
     
2. Struktureller Aufbau des Verbundes
   • Projektkoordinator (Konsortialführer) und Kontaktdaten (Name des Koordinators mit Anschrift sowie Telefon- und Telefaxnummer, E-Mail Adresse),
   • beteiligte Unternehmen und Einrichtungen (Adresse, Ansprechpartner, Anzahl Mitarbeiter, letzter Jahresumsatz),
   • Umsetzungskette (Forschung, Industrie, Anwender),
   • bisherige Arbeiten der Verbundpartner insbesondere mit Bezug zu den Zielen des Verbundprojektes.
     
3. Vorhabenbeschreibung Gesamtkonzept
   • Problembeschreibung,
   • internationaler Stand der Wissenschaft und Technik,
   • Thematische Zielsetzung mit Bezug zur Bekanntmachung und zum Rahmenprogramm Mikrosysteme.
4. Beschreibung des Arbeitsplanes
   • Herausheben besonders innovativer Arbeitsschritte,
   • Meilensteine mit Evaluierungskriterien,
   • Arbeitsteilung mit Darstellung der Teilaktivitäten Ggf. Zuordnung der verschiedenen Arbeitsschritte zu den jeweiligen Projektpartnern / Zusammenarbeit mit Dritten,
   • Aktivitäten zu Normale und Standards.
5. Verwertungsplan und Aspekte der Nachhaltigkeit
   • wissenschaftlich-technische und wirtschaftliche Erfolgsaussichten,
   • Produktvision mit Zeithorizont und Vorteile gegenüber konkurrierenden Lösungsansätzen,
   • Wirkung auf Arbeitsplätze und ökologische Aspekte,
   • beabsichtigter Umgang mit Rechten und Patenten,
   • Vermarktungskonzept
   • welcher Partner kann welche Teilergebnisse (auch außerhalb des Kernprojektziels) vermarkten?
   • wie soll die spätere industrielle Umsetzung der Projektergebnisse erfolgen (Zeitrahmen, Partner, Technologietransfer)?
   • wie groß werden die erzielbaren Umsätze sein?
   • welche Zielmärkte (Branche, Region) sollen angesprochen werden?
   • Öffentlichkeitsarbeit und projektübergreifende Ergebnisverwertung,
   • Konzept zur Veröffentlichung der technologischen Ergebnisse,
   • Konzept zum Ergebnistransfer in projektfremde Anwendungen und Branchen.
6. Notwendigkeit der Zuwendung
   • wissenschaftlich-technisches und wirtschaftliches Risiko der Verbundpartner,
   • grobes finanzielles Mengengerüst,
   • tabellarische Finanzierungsübersicht,
   • ggf. Beiträge anderer Geldgeber,
   • mögliche Finanzierung durch die Europäische Union.
     

Es steht den Antragstellern frei, weitere Punkte anzufügen, die nach ihrer Auffassung für eine Beurteilung ihres Vorschlages von Bedeutung sind. Es wird empfohlen, vor der Einreichung der Unterlagen mit dem Projektträger VDI/VDE-IT Kontakt aufzunehmen.

Aus der Vorlage der Projektkonzepte können keine Rechtsansprüche abgeleitet werden.

7.3. Auswahl- und Entscheidungsverfahren

Die Auswahl der förderfähigen Verbundprojekte erfolgt durch das BMBF auf der Basis der vorgelegten Projektkonzepte. Dabei werden u. a. Kriterien aus den folgenden Bereichen zu Grunde gelegt:

• Einordnung in den thematischen Schwerpunkt der Bekanntmachung,
• wissenschaftlich-technische Qualität des Projektkonzeptes und Anwendungsbezug,
• Neuheit und Innovationsgehalt des Lösungsansatzes,
• Vollständigkeit der Umsetzungskette,
• Zusammensetzung des Konsortiums und Qualifikation der Partner,
• KMU-Ausrichtung,
• Qualität des Verwertungskonzeptes,
• Angemessenheit der geplanten finanziellen Aufwendungen.
  

Über das Ergebnis der Bewertung der Projektkonzepte werden die Antragsteller vom Projektträger schriftlich informiert. Antragsteller positiv bewerteter Skizzen werden für die 2. Stufe des Auswahlverfahrens zur Vorlage eines förmlichen Förderantrags aufgefordert. Informationen zur förmlichen Antragstellung werden an die ausgewählten Bewerber versandt. Über die vorgelegten Förderanträge wird nach abschließender Prüfung entschieden.

Für die Bewilligung, Auszahlung und Abrechnung der Zuwendung sowie für den Nachweis und die Prüfung der Verwendung und die ggf. erforderliche Aufhebung des Zuwendungsbescheides und die Rückforderung der gewährten Zuwendung gelten die VV zu §44 BHO sowie §§48 bis 49a VwVfG, soweit nicht in diesen Förderrichtlinien Abweichungen zugelassen worden sind.

8. Inkrafttreten

Diese Förderrichtlinien treten an dem Tag des Erscheinens im Bundesanzeiger in Kraft.

Bonn, den 07.04.2004

Bundesministerium für Bildung und Forschung
Im Auftrag

Dr. Finking